新闻通稿（融媒体中心新闻记者 战略方针）6月18日，从电科武器装备主打产品烁科中科信公司传出喜报，公司产品研发的12英尺中束流离子注入机圆满寄往某集成电路芯片大生产线，这台由顾客立即购置的机器设备按期交货，意味着公司国内离子注入机社会化过程再上新台阶。

据悉，离子注入机是将特殊类型正离子以特定主要参数引入至特殊原材料中的一种机器设备，实行的是关键的夹杂加工工艺。半导体材料要制成器件，要更改电气性能，务必掺加残渣，离子注入机便是实行夹杂加工工艺的规范机器设备。“每一个器件加工过程中，必须开展很数次离子注入，引入到器件不一样的部位，引入的频次针对不一样器件种类和加工工艺连接点有差别，比如针对28nm逻辑性器件，引入频次约为40次。”烁科中科信公司技术主管张丛详细介绍说。

现阶段，中国集成电路芯片离子注入机器设备销售市场基本上被海外垄断性，国内机器设备市场占有率小，烁科中科信是在我国现阶段唯一的一家系列产品集成电路芯片离子注入机集产品研发、生产制造、服务项目于一体的经销商。在产品研发全过程中，研发部门攻破了激光光路、圆晶传送、使用量操纵、通用性系统软件等离子注入机关联性关键技术。中束流离子注入机提升了高精密束流视角操纵、小发送度寿命长离子源等关键技术，大束流离子注入机则进一步提升了低要大流强束流传送与操纵、适用十余种正离子的大流强寿命长离子源等关键技术，较高能离子注入机在较高能（MeV）正离子加快、高正电荷态离子源等关键技术上完成了提升。

场均三双流行仅仅刚开始，成管理体系完成国产替代才算是总体目标。“烁科中科信公司已产生系列产品离子注入机产品体系，创建了合乎SEMI规范规定的离子注入机产业发展服务平台，年生产能力达30台，公司的商品广泛运用于全世界著名芯片制造公司，并获顾客高宽比认同。”张丛说，公司独立研发的离子注入机产品系列还夺得了北京科技进步发展一等奖等多种殊荣，在顾客生产线上总计跑片650万片，平稳支撑点了顾客批量生产。此外，还创建了一支系统化的售后维修服务精英团队，推行7×24钟头响应机制，不断提高用户体验，加快国内生产制造的过程。

公司责任人说，将进一步紧紧围绕攻破关键关键技术持续发力，推动中束流和大束流离子注入机产业发展，另外，紧随先进工艺发展趋势，进行适用更先进工艺连接点的离子注入机的产品研发工作中，并持续扩展离子注入机在兴盛行业的运用。

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